MEMS sind Mikrosysteme, die mechanische und elektrische Informationen verarbeiten. Durch Miniaturisierung befinden sich mechanische und elektrische Elemente auf einem Chip. Die Systeme werden meist aus Silizium hergestellt. Die Strukturen können kleiner als ein Mikrometer sein.
Schlagwort: Sensorik
Pyroelektrischer Sensor
Ein pyroelektrischer Sensor besteht aus einem dielektrischen bzw. pyroelektrischen Material. In dem polarisierten Kristall entsteht bei Wärmeeinstrahlung ein Temperaturunterschied, der die Polarisation des Materials ändert und damit eine Ladungstrennung auslöst. Man spricht vom pyroelektrischen Effekt. Dieser äußerst sich als Spannung und Strom. Das Signal lässt sich verstärken und auswerten.