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Schlagwort: MEMS
MEMS – Micro-Electro-Mechanical Systems
MEMS sind Mikrosysteme, die mechanische und elektrische Informationen verarbeiten. Durch Miniaturisierung befinden sich mechanische und elektrische Elemente auf einem Chip. Die Systeme werden meist aus Silizium hergestellt. Die Strukturen können kleiner als ein Mikrometer sein.