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Messgerät um Scheinwiderstand zu messen? (Elektronik)

verfasst von Pit1509, 16.02.2022, 11:03 Uhr

Hallo zusammen,

an einem Schaltungs-Aufbau, bei dem ein Plasma erzeugt wird (für Sputterprozess), soll die Impedanz abgeglichen werden,
damit nachher der Prozess wieder besser funktioniert.

Gibt es ein Messgerät welches diese Impedanz messen kann mit einer Mess-Spannung mit einstellbarer Frequenz (13,5 MHz an der Stelle benötigt)?

(An meinem kleinen Kondensator ESR-Tester habe ich z.B. eine 100 KHz Prüfspannung)

Danke im voraus für Eure Hilfe dazu!
Gruß Pit

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Messgerät um Scheinwiderstand zu messen? - Pit1509, 16.02.2022, 11:03 (Elektronik)

Messgerät um Scheinwiderstand zu messen? - Altgeselle, 16.02.2022, 11:48

Messgerät um Scheinwiderstand zu messen? - Hartwig, 16.02.2022, 12:47

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Messgerät um Scheinwiderstand zu messen? - MiS, 16.02.2022, 13:16

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