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Hallo zusammen,

an einem Schaltungs-Aufbau, bei dem ein Plasma erzeugt wird (für Sputterprozess), soll die Impedanz abgeglichen werden,
damit nachher der Prozess wieder besser funktioniert.

Gibt es ein Messgerät welches diese Impedanz messen kann mit einer Mess-Spannung mit einstellbarer Frequenz (13,5 MHz an der Stelle benötigt)?

(An meinem kleinen Kondensator ESR-Tester habe ich z.B. eine 100 KHz Prüfspannung)

Danke im voraus für Eure Hilfe dazu!
Gruß Pit

» Gibt es ein Messgerät welches diese Impedanz messen kann mit einer
» Mess-Spannung mit einstellbarer Frequenz (13,5 MHz an der Stelle
» benötigt)?

Hallo,

das kostengünstigste, was ich kenne:
https://www.testequipmentdepot.com/usedequipment/hewlettpackard/impedanceanalyzers/4285a.htm

gebraucht für ca, 8000$, manchmal auch etwas günstiger.

Grüße
Altgeselle

wie man es "richtig" macht, also für den beruflichen Einsatz, hat Altgeselle ja schon vorheschlagen. Eine einfache Methode wäre noch die Impedanzmessung als Widerstandsmessung eines komplexen Widerstandes mit Oszi und Frequenzgenerator, evtl. auch als Meßbrücke aufgebaut. Oder du googelst nach "nanovna" (Nano Vector-Network-Analyzer). Ich kenne Deinen Meßaufbau nicht, aber bei HF lauern da einige Fußangeln, die dann zu unrealistischen Meßwerten führen, wobei sich bei 13Mhz diese Problematik noch in Grenzen halten sollte. Zumindest würde ich die Ergebnisse per Überschlagsrechnung (wenn möglich) kontrollieren.
Grüße
Hartwig

Hallo1

Noch eine Idee aus dem Bereich nicht professioneller Messtechnik:

Falls die Impedanz bei 13,5MHz eine Resonanz hat bzw. haben soll,
könnest Du das Stromminimum bzw. -maximum zu suchen, je
nachdem ob es ein Reihen- oder Parallel-Resonanzkreis ist.

Du bräuchtest also ein Frequenzgenerator und ein Messgerät zum
Strommessen für 13,5MHz, bzw. Shunt plus Spannungsmesser.

Mikee

» Gibt es ein Messgerät welches diese Impedanz messen kann mit einer
» Mess-Spannung mit einstellbarer Frequenz (13,5 MHz an der Stelle
» benötigt)?
Das macht ein vektorieller Netzwerkanalysator. Einfache VNWAs gibt es inzwischen für unter 100 Euro. Ich benutze seit Jahren den VNWA von DG8SAQ, der aber immer noch um die 500 Euro kostet. Such mal nach NanoVNA oder EuroVNA. 13 MHz ist ja NF

» Das macht ein vektorieller Netzwerkanalysator. Einfache VNWAs gibt es
» inzwischen für unter 100 Euro. Ich benutze seit Jahren den VNWA von DG8SAQ,
» der aber immer noch um die 500 Euro kostet. Such mal nach NanoVNA oder
» EuroVNA. 13 MHz ist ja NF

Es kommt darauf an, wie genau die Messung sein soll. Es ist immer sinnvoll
die Impedanz eines Bauteils in dem Frequenzbereich zu messen, bei dem es
eingesetzt wird.
Ich arbeite beruflich mit einem HP 4285A. Bei 13 MHz haben die Messleitungen
schon einen deutlichen Einfluss. Sie müssen mit in die Kalibrierung einbezogen werden.

Ein Vektor-Netzwerkanalysator zeigt meistens die Streuparameter (S11 ... S22) an.
Die sind auf 50 Ohm normiert. Ob das in diesem Fall weiterhilft, kann nur
Pit1509 sagen. Er hat sein Problem nicht sehr genau beschrieben...

Grüße
Altgeselle